二手 CANON / ANELVA EVC-1701 #9282622 待售

CANON/ANELVA EVC-1701是設計用於生產半導體器件的高級濺射設備。它利用先進技術將各種材料精確地沈積到基板上，如用於屏障和鈍化層的材料。該系統采用集成的自動化功能，可確保在大型基板上保持一致的沈積速率和均勻性。該裝置配有兩個大的6孔旋轉陰極，可以容納和濺射各種材料，如鋁、銅、精美、氯等。它還包括一個高頻磁場，有助於在過程中創建和維持一個均勻的沈積層。該機器包括一個多盤基板機器人轉移工具，它能夠準確快速地將各種大小和形狀的基板從主室轉移到裝卸位置。這一特點促進了多種基板的最佳處理和高效生產，確保了最小程度的破損和汙染。資產配備了高精度晶圓取向模型，使晶圓能夠精確地放置到沈積源。這有助於避免由於方向不正確或對齊錯誤而造成的物理損壞。此外,該設備還具有內置個人計算機和觸摸屏用戶界面,可提供簡單、用戶友好的體驗。該系統還可以與外部計算機單元集成，實現遠程操作和監控。佳能EVC-1701機器不僅精確度高，而且能效高。該工具配備了多種節能功能，如可移動快門，限制沈積面積，防止雜散等離子體進入工作區。這有助於節約能源和減少資產中的熱量積累。總體而言，ANELVA EVC-1701是將材料濺射到基板上生產半導體器件的極其可靠的來源。它高效、準確，可以容納各種各樣的材料。其眾多的自動化功能和節能設計使其成為那些尋求經濟高效的解決方案來滿足其半導體生產需求的人的理想選擇。