二手 CANON / ANELVA I-1012 #9148534 待售

CANON/ANELVA I-1012濺射設備是為提供精確、可靠和高度可控的薄膜沈積而開發的先進工業工具。系統由一個配有兩個平面陰極（或電子槍）、高壓直流電源和真空單元的主腔室組成。所施加的陰極電壓和電流可以獨立變化，允許受控的均勻濺射過程。還包括一個閉環氣流控制器，以確保精確的物料輸送和蒸發到目標。CANON I-1012可以容納直徑不超過12英寸的目標,以及尺寸不超過3立方英尺的加工室。該機器的設計目的是使各種材料如金屬、陶瓷、氧化物和氮化物的濺射塗層沈積。它甚至有能力將最堅硬的金屬，如鎢、鈦和銨，沈積在包括紙、塑料、玻璃、矽、銅、鋁和不銹鋼在內的多種基板上。ANELVA I-1012具有良好的膜均勻性,厚度和成分公差約± 1%。刀具的1-2秒循環時序是批處理的理想選擇。I-1012還具有獨立的電極控制，在目標的大面積上具有均勻且可復制的塗層厚度。此外,它還具有內置診斷資產,可幫助診斷和監控其性能,從而改進流程並減少因設備故障或流程幹擾而導致的停機時間。為了最大限度的安全，CANON/ANELVA I-1012受到兩個超壓系統的保護，這兩個系統在發生任何危險情況時關閉主腔室真空並中斷高壓電源。此外，該模型還標配了全面的安全警報，以及在整個過程周期中自動保持腔室壓力的控制。該設備還具有全面的遠程監控功能,向用戶提供多達25個流程數據通道,以便於故障排除和調整。總體而言，佳能I-1012是提供高度可控、均勻、精確的薄膜沈積的理想工業工具。該系統還提供可靠的性能,同時考慮到用戶的安全和便利。