二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #293830304 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是為薄膜沈積而設計的高性能濺射設備。利用平行濺射技術提高了沈積速度和均勻性，適用於鈍化、阻擋層、接觸層和電極材料等多種應用。該系統配備了可用於單源和雙源濺射的高功率射頻（RF）發生器。其真空室設計方便操作維護，內置機械泵控制腔室壓力。內置渦輪泵保證了低背景壓力，並且不需要單獨的吸氣泵。該裝置的浮動不銹鋼陽極板（靶架）確保均勻沈積，如果需要，可以使用高容量離子槍進行額外的蝕刻和清洗，以及反向偏置濺射。該機器包括一個氣體進料工具，用於沈積反應性氣體，如氧氣、氮氣和氙氣。此外，該資產無需用水即可控制室溫至300攝氏度之間的溫度。佳能I-1060SVII PLUS-1提供0.1至5 kW的濺射功率範圍，可選頻率為13.56 MHz。它配備了強大的石英燈，可以用來退火沈積的薄膜。此外，該模型還配備了遠程監控設備，用戶可以從任何位置監控和調整沈積參數。總體而言,ANELVA I-1060 SVII PLUS-1是需要以經濟實惠的價格進行可靠、高性能濺射的應用程序的理想選擇。它結合了先進的特性和多用途的能力，非常適合廣泛的沈積過程。