二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9171868 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是一種單室、高真空濺射設備，設計用於將薄膜沈積到基板上，用於先進的微電子和光學應用。該機組的底壓為2x10-6 Torr，通過主動級渦輪分子泵實現。I-1060提供的最大濺射功率為5kW，可調節功率範圍為0-10%，適合多種應用。安裝在機組後部的隔離管為磁控管濺射提供額外的動力。此外，I-1060采用高真空快門將底物裝卸室與薄膜生長室分離。該I-1060可容納直徑達60厘米的各種目標，總目標面積為170 cm2。它具有0.1-30 cm/min的可變濺射速度，可以使用微處理器系統設置。I-1060中的臺式電極為電子傳遞到目標材料的電場提供了一個地面，從而形成等離子體。臺式電極（TME）增加了沈積層的均勻性，使紋理膜的形成成為可能。該單元還設有4級粗加工單元，以及維護真空閥、吹掃機、三微米濾波器、兩個擋板和一條抽水線。此外，帶有溫度補償工具的數字控制器可以方便操作，並允許用戶對濺射參數進行任何必要的調整。該I-1060提供精確的薄膜厚度控制,薄膜厚度差異小於10%。模型中還包括一個薄膜檢驗資產，以確保質量控制。此外，該I-1060在濺射過程中利用了多種氣體，如氙氣、氮氣、O2、H2和N2。除此之外,先進的遠程診斷和安全機制提高了設備的性能,並保護設備免受任何潛在的損壞。