二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII Plus 1 #9273917 待售

CANON/ANELVA I-1060 SVII Plus 1是一種能夠將薄膜沈積到基板上的濺射設備。它通常用於沈積硬質、導電膜和介電膜，用於廣泛的應用。佳能I-1060SVII PLUS-1吞吐量高,效率高.它具有高精度、高精度和優異的機械性能,材料種類繁多,能夠在薄膜厚度控制嚴密的情況下應用非常薄的塗層。ANELVA I-1060 SVII PLUS-1有一個主磁控管濺射源，在標準測試環境下最大濺射速率高達100 nm/min。其垂直工作區提供了高達32 「x 18」的大面積濺射沈積。濺射源由一個6KW電源供電，提供均勻的目標離子能量。濺射源裝有直徑15英寸的陰極靶子，最大濺射速率為132 nm/min。它還有一個可編程的旋轉基板支架，容量為135 °C。ANELVA I-1060SVII PLUS-1有一個已安裝的渦輪分子和粗加工泵真空泵，以及一個數字真空計，能夠使腔室快速疏散到低壓。它有一個自動壓力控制（APC）系統，可以降低基板加熱時間，增加厚度範圍廣泛的基板的均勻性。此外，該裝置還設有氦氣泄漏檢查機，可直接測量濺射源的小泄漏。此外，該工具還設計了X和Y光柵運動資產。這會影響基板的運動，導致整個基板上均勻的濺射沈積，並隨著附著力的增強而降低表面粗糙度。此外，一個有源等離子體監測器有助於優化濺射速率與正確程度的電離氣體光滑均勻塗層。CANON/ANELVA I-1060SVII PLUS-1是一種全計算機控制模型，可與用戶友好的軟件配合使用，便於操作。它具有用於快速設置的數據存儲設置,並提供過程控制概述和數據日誌記錄。該設備常用於塑料硬質塗層、半導體沈積、薄膜太陽能電池薄膜沈積、TFT和液晶顯示屏、LED照明等多種應用。