二手 CANON / ANELVA I-1060 SVII #293821353 待售

CANON / ANELVA I-1060 SVII
ID: 293821353
晶圓大小: 6"
Sputtering systems, 6".
CANON/ANELVA I-1060 SVII是用於制造電子元件的先進濺射設備。該系統具有高真空濺射室和裝在重型真空室中的濺射槍的特點。濺射槍配有可調節高度的支架和兩個濺射頭,以確保基板的塗層均勻。該單元可以在其手動旋轉平臺上容納直徑達340mm的基板。CANON I-1060 SVII由強健的觸摸屏控制器控制,並利用多種濺射技術。與各種來源兼容,包括直流、脈沖直流、高頻交流濺射。該機沈積速率高,均勻性好,顆粒物排放低,目標材料兼容性廣泛。它還具有冷熱最小值溫度控制器,可以在操作過程中進行精確的溫度管理。ANELVA I-1060 SVII可以在串聯和批處理式濺射過程中操作。串聯過程涉及用單個濺射槍連續塗覆基板,而批處理過程則涉及在單獨的批次中濺射多個基板。例如,涉及1000個基板的批處理過程可以在大約10分鐘內完成。該工具還可以與紫外線固化、PVD/CVD硬塗層、負載鎖等其他設備配合使用。I-1060 SVII由優質耐腐蝕不銹鋼制成,並配有安全護罩和緊急關閉裝置,以確保用戶安全。資產是可維護的,過濾器易於訪問。總體而言,CANON/ANELVA I-1060 SVII是一種可靠、高性能的濺射模型,它為制造各種具有精確和均勻塗層的電子元件提供了經濟高效的解決方案。其種類繁多的濺射技術及其批量和串聯處理能力使其成為尋求可靠、經濟高效濺射設備的制造商的理想選擇。
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