二手 CANON / ANELVA I-1060 #9144792 待售

CANON/ANELVA I-1060是一種高精度、工業級的濺射設備,能夠生產高純度、均勻的薄膜。由CANON開發，該系統廣泛應用於各個行業的許多應用，如太陽能電池板、平板顯示器、觸摸板、光學存儲介質以及許多其他需要高度指定沈積層的項目。CANON I-1060是一個垂直磁控管濺射單元，利用大功率磁體將等離子體離子推進到適當形狀、電隔離的基板上。這種方法使使用者能對沈積速率、沈積材料的均勻性和其他重要參數有高度的控制。該機器還具有生產幾乎任何厚度的薄膜的能力，非常適合需要非常薄的層的應用。ANELVA I-1060提供了廣泛的真空級別,根據選定的工藝,達到1到10-3 mbar的壓力。這樣可以使工具適應各種基材和應用需求。I-1060還提供室內清潔功能，以及各種晶圓清除系統，允許無人操作。此外，該資產還具有氣流自動控制模型和精細運動定位設備，可對整個沈積過程進行精確控制。CANON/ANELVA I-1060的其他特性包括使用RF、DC和脈沖-DC濺射，使得生產氧化膜、導電層和合金膜成為可能。該系統具有超高真空應用的內部進給通路，以及多步自動腔室清洗單元。此外，CANON I-1060支持各種塗層源，包括平面陰極、濺射槍、可旋轉陰極和三波磁控管，有助於實現高沈積速率和高度指定的薄膜塗層。總體而言，ANELVA I-1060是一種特殊的濺射機，它提供全面的沈積能力，同時遵守最高的質量標準。它具有靈活性、可靠性和精確度,非常適合需要高性能的各種工業應用。