二手 CANON / ANELVA I-1060 #9148536 待售

CANON/ANELVA I-1060是一種高精度濺射設備，主要用於制造半導體及相關產品的薄膜沈積。該系統設計用於在多種基板上提供均勻且可復制的薄膜沈積，包括半導體晶片、玻璃和其他材料。該單元由一個真空基座室組成，該室容納基板支架和濺射源和目標。真空機連接到一條氣體管線，提供一種引入腔室的反應性氣體。為了達到對晶片覆蓋的良好目標，佳能I-1060設計用於磁濺射。該工具配備了可變電源，為磁控管濺射源提供受控電源。該資產還采用步進電動機驅動的XY級，以確保整個晶片均勻塗層樣品支架的精確運動。此外，ANELVA I-1060還配備了高位置裝置，測量基板上材料的個別電離，確保薄膜厚度均勻。為了測量薄膜的特性，模型還配備了光譜儀和/或橢圓儀，以分析晶圓不同點的材料特性。此外，設備設計方便維護，並配有多種安全特性。其中包括有助於確保操作員和環境安全的功能。該系統還包括一個用於識別和排除潛在問題的自動故障診斷單元。總體而言，I-1060是一臺設計精良的濺射機，旨在為半導體工業中使用的各種基板提供一致、均勻的薄膜沈積。該工具包括多種功能，以確保整個晶片的均勻塗層以及分析薄膜的特性。它還包括多種安全和維護功能,以確保安全運行和最佳性能。