二手 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9144048 待售

CANON I-1060 SV2+1是一種自動濺射設備，用於在各種基材材料上塗覆薄膜。這個系統配備了一個五口袋、高容量的晶片裝載室，可以容納多達10英寸的晶片。該單元使用一個可以獨立控制的多面陰極，並提供更大的沈積均勻性跨基板。本機有磁性和電子束濺射兩個陰極。陰極源包括三個用於進行電子束比濺射，另外兩個用於定期濺射。腔壁由不銹鋼制成，為增加塗層均勻性提供了低反應性稀有氣體（如氙氣）與基板的均勻分布。該工具通過使用多個旋轉目標和獨立的陰極，在整個基板上實現塗層的高度均勻性，在基板表面上提供均勻的薄膜。該資產還提供遠程沈積控制,以實現整個基板的均勻性。通過使用化學計量靶子可以有效地控制過程，對每個陰極的功率設置可以單獨調整以控制沈積速率。ANELVA I-1060 SV2+1能在汙染物最小、工藝均勻性較高的情況下實現高沈積速率。該模型還具有溫度控制加熱元件和溫度探針，以確保膜沈積均勻。Cassette Shuttle Transfer設備還設計用於通過在真空下進行基板交換來減少腔底沈積，以提高塗層的均勻性。最後，設計了CANON/ANELVA I-1060 SV2+1濺射系統，將薄膜塗覆到各種基材上，均勻度更高。它具有兩個獨立控制的陰極和旋轉目標，以及遠程沈積控制和溫度控制元件，以確保塗層的均勻沈積。該裝置具有較高的沈積速率，汙染物極少，同時達到質量、均勻的塗層。