二手 CANON / ANELVA I-1060SV2+1 #9177921 待售

CANON I-1060 SV2+1是為薄膜沈積應用而設計的多功能濺射設備。用於將多種金屬、合金、氧化物、氮化物等材料沈積在基板上，制成具有所需性能的薄膜。該系統由真空室、強大的磁控管濺射源、均勻沈積的旋轉基板支架、氣體輸送裝置和一個廣泛的過程控制器組成，以監測和控制機器。真空室采用不銹鋼結構，采用圓柱形設計，集成了淋浴頭濺射目標插件。它具有一個內部視口來監視濺射腔，可變壓力範圍為10-3至10-8 torr，底壓為10-9 torr。磁控管濺射源由兩盞最大輸出功率20kw的大功率鹵素燈組成。它具有很高的電離速率，並提供了廣泛的材料濺射。旋轉基板支架可以編程為以0.2至10 RPM的可調速度旋轉，從而在整個基板上產生均勻的沈積。該工具還包括進一步均勻性的振蕩函數。氣體輸送資產用於將氣體引入腔室以獲得所需的加工參數。該模型的氣體流量為0-100scm，總氣壓容量為10-3至10-8 torr。ANELVA I-1060 SV2+1設備具有高效的過程控制器,可在操作過程中監視參數和更改設置。這包括一個可編程腔室壓力指示器，溫度指示器和電源電壓表。該系統還具有超溫度和超壓報警功能,並帶有電氣互鎖保護開關。總體而言，CANON/ANELVA I-1060 SV2+1是一種先進的濺射裝置，旨在提供可靠的性能和有效的沈積。它利用創新技術為用戶提供最新的機器。多種多樣的特性和元件使其成為薄膜沈積工業研究和生產應用的理想工具。