二手 CANON / ANELVA ILC-1012 Mark II #9269327 待售

CANON/ANELVA ILC-1012 Mark II是為各種薄膜塗層應用而設計的先進濺射設備。該系統包括一個濺射陰極、一個等離子發電電源、一個氣體電源和一個旋轉臺。該裝置的核心是一個感應耦合等離子體線圈，用於產生高密度等離子體，這對於在濺射過程中進行有效的離子轟擊至關重要。ICP線圈產生各種稀有氣體的等離子體，例如功率密度可達5.8 kW/cm2。這允許了廣泛的濺射應用，特別是對於高溫塗層，如金和​​的。該機器的設計利用了磁控管濺射的物理現象，即被放置在濺射陰極後面的磁體使從目標材料釋放出來的粒子在基板處保持較低的位置，從而提高了塗層效率。它有一個直徑13.1厘米的長方形目標，可容納10公斤。目標能夠旋轉360度，均勻覆蓋基板，並塗上金或其他材料的薄膜，產生濺射顆粒。該工具還配備了供氣裝置，最多可容納5瓶各種稀有氣體，用於產生高密度等離子體。這些氣體的壓力和流量可以從主控制面板精確調節，以優化濺射過程。該資產還設有一個高精度的旋轉臺，可以對基板進行精確和均勻的塗層。該表每分鐘可旋轉0轉至6000轉，最小步長為5 rpm，允許對塗層厚度進行精確剪裁。CANON ILC-1012 Mark II是一種功能強大、高效的濺射模型,能夠生產高質量的薄膜塗層,適用於各種應用,是塗層和沈積實驗室的理想選擇。