二手 CANON / ANELVA ILC 1012 MK II #9068933 待售

CANON / ANELVA ILC 1012 MK II
ID: 9068933
晶圓大小: 4"-5"
Sputtering systems, 4"-5".
CANON/ANELVA ILC 1012 MK II是設計用於真空塗層的特種濺射設備。該系統裝有冷鋒槍,由固定的多磁控管陰極裝置以及可移動的多磁控管陽極組成。這種組合允許比傳統電子束系統有幾個優點,包括非常大的喉嚨尺寸,允許大元件的高效濺射。冷邊槍也允許使用比其他電子束系統更高的壓力。CANON ILC 1012 MK II提供了幾種濺射室配置,每種配置都是為滿足客戶應用程序的特定要求而量身定制的。標準配置由一個25厘米長的工作室組成,能夠同時處理多達四種目標材料。這個腔室有一個5厘米的檢修口,並配有0.6毫巴的底壓和0.2毫巴的渦輪泵。還提供一個可選的8厘米工藝室,它具有0.45毫巴的底壓和0.1毫巴的渦輪泵。該裝置設計有一個控制裝置,管理多達24個電源,能夠精確控制機器參數。集中控制數據庫允許存儲多個配方,以便在應用程序之間快速輕松地進行更改。此外,集成的故障檢測軟件會在操作過程中連續監視該工具,並在出現任何不規則性時提高標誌以提醒用戶。ANELVA ILC 1012 MK II具有多種特性,使操作和維護更加容易。其中包括一個節能模式,持續監控資產的能耗,以及一個人性化的觸摸屏界面,用於設置和操作模型。此外,該設備還可以處理高吞吐量,典型的周期時間僅為2分鐘。高質量材料的堅固構造和使用確保了系統的長壽命。這與整個設備中使用的工業級部件相結合,產生了極其可靠和可重復的過程。總體而言,ILC 1012 MK II是一種可靠且用途廣泛的濺射機,能夠滿足各種工業和研究應用的需求。CANON/ANELVA ILC 1012 MK II具有大喉嚨尺寸、高壓力、易於操作和維護以及節能的特點,是任何涉及真空塗層的行業的理想選擇。
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