二手 CANON / ANELVA ILC-1012 #9215758 待售

CANON/ANELVA ILC-1012 Sputtering Equipment（以下簡稱「系統」）是用於精密工程、半導體、電子等領域的先進塗層單元。其主要目的是通過將材料濺射到各種基材上來制造材料薄膜，在這一過程中，由於離子轟擊和高溫的結合，材料作為微觀顆粒從源顆粒中噴射出來。該機器由一個IH真空室、一個電源和一個瞄準頭組成。真空室允許用戶將所需的材料引入真空壓力為1000-30000 Pa的工作室中，它被設計為與Forward-和Reactive-Sputtering過程兼容，允許用戶在基板上濺射幾乎任何選擇的材料。電源允許精確控制材料的工作功能、濺射角和濺射速率，而瞄準頭則提供對濺射粒子方向的精細控制。整個工具由工業級控制器支持，具有簡化的用戶界面，允許快速、方便地操作和修改過程參數。這進一步有助於資產保存和召回多達16種用戶定義的配方,用於可重復、高質量的處理。該模型的高級工程提供了細層的超細均勻濺射,其寬度不超過0.1 μ m,這對於需要在層厚上具有緊密公差的高精度電子應用非常重要。關於這一點，設備允許控制符合最先進的電子工業要求的濺射參數。過程控制還有一些輔助功能,例如端點檢測器。使用此系統,用戶可以設置濺射目標厚度,一旦達到所需厚度,該過程將自動停止。此外，該裝置還包括一個真空傳感器，允許操作員在濺射時監測腔室壓力。機器還有一個緊急停止工具，它將在發生緊急情況或異常操作時關閉資產。綜上所述，佳能ILC-1012濺射模型是在電子元件或基板上精確塗覆材料的理想選擇。它具有廣泛的功能,例如過程控制選項、用戶友好的界面和高級工程,確保它在未來許多年內仍然是一個值得信賴和可靠的工具。