二手 CANON / ANELVA ILC 1013 #9068935 待售

CANON/ANELVA ILC 1013是一種特殊類型的濺射設備，用於許多不同的應用。CANON ILC 1013是一個三室系統，有三個主要組成部分：濺射（源）室、冷凍泵室和沈積室。該單元采用離子激光元件對準技術（又稱ILC），在大型基板上操作小尺寸特征時提供極致精度。在濺射室中，金屬、陶瓷、電介質等不同的目標材料安裝在陰極室中。然後在低壓（1 mtorr）時向腔室註入Ar氣體，此時適當的目標介質受到來自直流磁控管的離子通量的影響。通過改變電壓和電流水平，可以控制濺射材料的侵蝕速率和組成。冷凍泵利用液氮支持~ 10-8 torr的真空。這是通過結合氮氣的熱導率、真空壁的熱導率和冷凍泵產生的磁場來完成的。冷凍泵提供極為均勻清潔的沈積環境。沈積室包含要沈積材料的基板。這是通過一個連續的傳遞機制來完成的，該機制以預先確定到薄膜厚度的速度將基板從一個位置移動到另一個位置。使用濺射速率控制器來改變沈積速率。總之，ANELVA ILC 1013是一款先進的濺射機，融合了ILC對準等先進技術，為小特征提供了完美的對準。其三室結構包含濺射室和冷凍泵室，以確保均勻和清潔的沈積。基板特地定位在沈積室中，以預定的速度經歷連續的轉移機制。得益於這一工具，金屬、陶瓷、電介質的沈積等各種應用都可以完成。