二手 CANON / ANELVA ILC-1013 #9269410 待售

佳能/ANELVA ILC-1013是佳能公司制造的直流磁控管濺射設備。它是為工業塗層應用而設計的高性能濺射系統。CANON ILC-1013使用射頻交流電源創建高密度等離子體電弧，然後用於濺射多種材料。高密度等離子體電弧使電離效率比傳統的直流濺射系統高得多，從而產生較高的沈積速率。ANELVA ILC-1013具有嚴格控制的晶圓傳輸單元,可實現最大的基板一致性。機器高效的設計提高了最終塗層的整體均勻性和地形。此外，ILC-1013擁有精確定位基板，允許無與倫比的濺射均勻性和嚴格控制基板溫度。CANON/ANELVA ILC-1013有各種控制選項，包括溫度控制、氣流控制和多目標操作。CANON ILC-1013還配備了多種安全功能，包括低壓監控工具、防靜電保護和基板夾保護。它的設計采用了重型不銹鋼外殼和內部金屬護罩，提供了最終的保護和免受外部汙染源的保護。操作時，ANELVA ILC-1013必須保持在可控的氣氛中。資產利用冷卻和疏散系統來調節溫度和保持清潔環境。所有組件均通過集中式真空控制單元（VCU）連接,以確保不間斷的真空和過程穩定性。ILC-1013是在塗層工藝中要求高質量和一致性的應用的理想選擇。它能夠沈積多種材料，可用於多種工業應用，包括醫療、汽車和半導體制造。模型的高級特性使其成為所有類型沈積的寶貴工具。