二手 CANON / ANELVA ILC-1013 #9275352 待售

CANON/ANELVA ILC-1013濺射設備是用於薄膜濺射沈積的最先進的工具。它提供了一個可靠和準確的方法來創建厚度和均勻性一致的薄膜。CANON ILC-1013被用於多種應用，包括光電器件、平板顯示器、太陽能電池、半導體芯片、傳感器、MEMS器件以及汽車塗料和塗層。ANELVA ILC-1013是一種高度復雜的濺射沈積系統,具有先進的二極管激光互鎖陰極電弧（ILC）源。這種光源經過專門設計，可以生產出均勻、連續和可重復的薄膜塗層。該單元包括一個調制數字電弧電流供應，能夠精確控制電弧傳遞。ILC-1013還具有一個基於PLC的過程控制面板、可選的帶有​​的散射目標以及一個先進的風冷真空機。CANON/ANELVA ILC-1013與ILC源一起,還包括其他各種先進組件,以確保薄膜沈積精確且可重復。這包括射頻電源、高精度壓力表、風冷目標支架、泄漏閥和ESD安全室。所有組件的設計都是為了共同創造一個穩定和有效的沈積工具。CANON ILC-1013濺射資產還配備了多種功能，使其更易於操作和監控。這包括一個高精度的質量流控制器，它可以在濺射過程中測量和控制等離子體的溫度。它還具有一個內置的軟件套件，它提供了一個圖形用戶界面來控制模型，除了進程的實時監視器。該軟件套件包括一系列配方和所見即所得，允許用戶根據需要快速調整參數。總體而言，ANELVA ILC-1013濺射設備是薄膜沈積應用的理想工具。憑借其先進的ILC源、先進的組件和用戶友好的軟件，該系統可以為創建均勻的薄膜層提供高效可靠的選擇。此外，其廣泛的安全特性使其成為任何實驗室安全可靠的濺射沈積裝置。