二手 CANON ANELVA ILC-1013MK2 #9134660 待售

CANON ANELVA ILC-1013MK2是一種用於制造大型電子元件的濺射設備。它利用磁性將材料粒子轉移到基板上，以產生所需的元件。該系統由一個腔室、一個基板支架和一個陽極組成。腔室由不銹鋼製成，並填充了一種低壓的稀有氣體，如Argon。腔室設有真空密封，為高效濺射創造低壓環境。基板架設計用於固定基板，並提供濺射平臺。它具有可調的入射角，允許從不同方向精確濺射。陽極由Molybdenum等特殊材料制成，結合磁場和低壓電場，將材料顆粒從腔室轉移到基板上。ILC-1013MK2的沈積面積為100毫米x 200毫米，適合制造大型部件。它還具有11 nm/min的最大沈積速率，可以達到500 °C的高溫，這使得它非常適合制造電子和機械部件。該單元還可用於使用低能束降低沈積速率的離子束輔助沈積（IBAD）。這種特性在保持薄膜均勻性的同時增加了沈積速率。此外，佳能ANELVA ILC-1013MK2有一個最先進的控制機器，允許在濺射參數的高度精度。它還具有用戶友好的界面和實時顯示，使用戶能夠快速輕松地監控和控制濺射過程。該裝置具有許多有用的功能，包括有助於保護用戶免受輻射的伽馬射線敏感安全工具，以及有助於保持濺射資產處於最佳狀態的自動清潔功能。總體而言,ILC-1013MK2是一個可靠且高度精確的濺射模型,具有多種功能,非常適合大型部件的工業生產。其精密的控制設備可確保高精度,而用戶友好的界面使其易於使用和監控。該系統的設計也考慮到了安全性，其自動清洗功能確保了設備保持在最佳工作狀態。