二手 CANON ANELVA ILC-1013MK2 #9134664 待售

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ID: 9134664
Sputtering system AR HE N2 DA 1988 vintage.
CANON ANELVA ILC-1013MK2是CANON ANELVA Corporation制造的濺射設備,利用物理氣相沈積(PVD)將薄膜沈積在基板上。這種濺射系統是一種露天設計,允許高濺射產量在很大的效率水平與最小的充電沈積室。ILC-1013MK2提供具有世界上第一個10GHz頻率範圍的單一射頻電源,加上先進的離子束技術,可以提高濺射速率、提高膜厚度均勻性、提高膜密度、減少針孔和降低薄膜生長成本。該單元的簡單布局也使得多個過程能夠快速集成,從N2處理到離子純度控制或壓力控制。CANON ANELVA ILC-1013MK2配備了直流磁控管源,可提高濺射產量和大面積均勻性。該機還具有過程控制功能,可實現簡單準確的沈積速率和薄膜厚度控制。數字接口允許設置各種參數,以確保高精度的沈積過程。液壓控制工具的使用進一步確保了在不損壞基板的情況下可以獲得均勻均勻的薄膜。使用先進的鏡像修復技術ILC-1013MK2進一步有助於抑制材料堆積,從而阻礙樣品的有效濺射。這一功能還能夠在難以觸及的零件上沈積高質量、無損傷的薄膜。CANON ANELVA ILC-1013MK2的設計旨在提供PVD領域的卓越性能。低壓操作,工具設置快捷,工藝周期時間快,薄膜沈積控制精準,效果優越。因此,ILC-1013MK2已成為PVD行業中許多應用程序日益流行的選擇。許多行業依靠佳能ANELVA ILC-1013MK2為其產品取得的優異成果。憑借其卓越的性能、可靠性和易用性,ILC-1013MK2一定會在未來許多年內保持行業領先地位。
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