二手 CANON / ANELVA ILC 1015 #9302490 待售

CANON/ANELVA ILC-1015是一種裝有質量流控制器、真空系統和電源的濺射設備。該裝置專為薄膜沈積、微器件制造、基板清洗等濺射應用而設計。本機由腔室和電源平臺兩個主要部件組成.腔室由真空室、沈積源和基板級組成。真空室采用不銹鋼制成，具有鐘形罐設計，便於接觸基板。沈澱源由一個單一的目標源組成，最多有四個獨立的濺射源安裝在腔室門上。基板級可調，可容納200 毫米x200毫米基板。CANON ILC-1015的電源平臺設計為對濺射源提供靈活準確的電源控制，允許精確的薄膜沈積。該平臺由三類電源組成：用於控制直流電壓的直流（DC）電源、用於控制濺射源PWM的脈寬調制（PWM）電源和射頻電源。濺射功率可以從0-5kW調節，使厚層沈積，形成均勻的球狀原子簇。該工具可以使用手動或自動模式操作。在手動模式下，用戶可以控制壓力、溫度、射頻功率等腔室參數。在自動模式下,資產通過個人計算機（PC）進行編程和操作。用戶還可以使用各種傳感器來測量沈積速率和基板溫度。ANELVA ILC-1015是一種先進的濺射模型,旨在實現精確的薄膜沈積.適用於微器件制造、濺射蝕刻等濺射應用。憑借其先進的電源平臺和用戶友好的操作，ILC-1015可以幫助研究人員快速高效地實現他們所期望的結果。