二手 CANON / ANELVA ILC 1015i #9101584 待售

CANON/ANELVA ILC 1015i是一種濺射設備，用於在真空中將金屬、陶瓷和聚合物濺射到基板上。該系統能夠在大面積上沈積均勻的薄膜，具有高度的精確度和控制力。1015i具有獲得專利的雙頻射頻電源模塊，使設備能夠同時在4 MHz和13.56 MHz運行。這使得機器適合與多種材料配合使用，從不溶性金屬到聚合物，並允許對沈積的薄膜厚度進行極其精確的控制。1015i還具有自動放電控制功能，有助於消除沈積過程中的不一致。1015i的濺射室裝有電子束槍，用於在濺射過程中蒸發材料的電離粒子。這保證了均勻的濺射，並達到比機械磨損更高的效率。該室還有兩個氣體註入模塊，用於引入大型氣體混合物，以控制沈積速率、回收率和顆粒沈積特性。濺射工具還具有高溫卡盤，可用於加熱最高1000 °C的基板。這對於由陶瓷和聚合物等材料制成的基材很有用，它們可能需要高溫才能確保膜沈積均勻。1015i還擁有先進的控制資產，允許用戶設置功率輸出水平、沈積速度和基板溫度等操作參數。這允許用戶根據自己的特定要求定制模型。1015i還有一個計算機可編程界面，允許用戶遠程控制設備。該系統的設計考慮到安全和可靠性，並配備了一系列安全開關和傳感器，以保護設備和用戶。它還設有一個排氣機，以提取煙霧和維持一個安全的工作環境。總體而言,CANON ILC 1015i是一種先進的濺射工具,具有多種功能,可用於各種材料和基板。其高精度和控制，以及其安全特性的範圍，使其成為工業濺射應用的理想選擇。