二手 CANON / ANELVA ILC 1015i #9105641 待售

CANON / ANELVA ILC 1015i
ID: 9105641
晶圓大小: 6"
Sputtering system, 6" Spare parts included.
CANON/ANELVA ILC 1015i是一種濺射設備,用於在各種基板上形成厚度均勻的薄膜。該系統由電源、離子源和等離子體源組成。電源是機組的心臟,負責控制濺射電流和電壓。電壓決定離子源與目標材料的距離,而電流決定離子轟炸率。電源還提供有關濺射電流水平的反饋,並具有監視和安全功能以防止過載或電弧。離子源用於提供離子,然後將離子聚焦在目標材料上,從而提供目標材料原子蒸發所必需的熱能。離子源通常是射頻(RF)、直流電(DC)或磁控管濺射器。等離子體源用於在濺射室中創建等離子體環境。它通過產生電子和離子的高密度等離子體火炬來實現這一點,大量用於濺射。通過將目標材料和濺射氣體註入輝光放電產生等離子體,從而導致陽極和陰極之間的火花間隙。CANON ILC 1015i經認證符合工業標準,設計可執行2.5至12.7毫米厚的基板,總腔室容積為27升。它支持蒸發、射頻和直流濺射、離子束轟擊以及其他標準濺射過程。ANELVA ILC 1015i是一款功能強大的機器,具有工藝鍛造能力、更高級別的計算機控制、分離沈積和烘烤周期以及多種目標材料等特點。多層濺射功能使它能夠創建詳細的圖樣和復雜的圖層,並以均勻的厚度覆蓋各種尺寸的對象。還可用於制造用於醫療和食品加工的硬質塗層、光學濾鏡和光學工具的保護層,以及裝飾塗層。此外,該工具還具有幾個安全功能,如操作員界面,允許用戶設置可靠的操作參數以及報警和緊急關閉。這樣可以確保資產的安全使用。總之,ILC 1015i濺射模型是一種先進的設備,能夠制造出厚度均勻的薄膜。它旨在提供可靠、安全的性能以及多層濺射功能。其先進的特點和安全機制使其成為濺射工藝的絕佳選擇。
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