二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #293655450 待售

CANON / ANELVA ILC 1051
ID: 293655450
Sputtering system Metal: AlSi, Ti, TiN.
CANON/ANELVA ILC 1051是一種為提供高品質單膜沈積能力而設計的濺射設備。該系統與廣泛的濺射目標配合使用,使其能夠為各種應用生產各種不同種類的塗料。濺射單元由基礎單元、真空室、控制器、目標支架和排氣機組成。基本單元包含一個自動裝卸室和調節工具內真空的必要設備,包括一個設定點控制器和可編程邏輯控制器。真空由電離計和壓力控制器監測。通過差壓調節器將惰性氣體引入資產,以降低壓力。基座單元還包含電源和高頻發電機。該模型的真空室由不銹鋼制成,帶有陽極氧化鋁塗層,用於防腐。設計為薄膜沈積提供溫度穩定的環境。真空室設有擴散泵、渦輪分子泵、通用真空泵。工藝室還配備了不銹鋼擋板,以防止工藝室外的汙染。目標支架安裝在腔室內,設計用於將濺射目標牢固地固定到位。目標持有者被設計為接受任何尺寸的濺射目標,包括那些由不同的材料和形狀不同。目標持有者的設計也允許目標在腔內容易定位。該設備由一個計算機控制模塊控制,該模塊監測系統參數,以確保最佳薄膜沈積。此模塊還允許用戶調整濺射壓力、時間和功率等工藝參數。該裝置還設有排氣機,可清除濺射過程中產生的任何多余顆粒和氣體。CANON ILC 1051是一種高效的工具,可以提供高質量的單膜沈積結果。此資產在目標材料和形狀方面用途廣泛,包括提供最佳濺射環境的功能。這些功能還可以更輕松地管理流程參數並確保最佳操作。
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