二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9111758 待售
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CANON/ANELVA ILC 1051是一種為了提供高品質的薄膜沈積技術而開發的濺射系統。它以其出色的性能、精確度和生產的薄膜層的精確度而聞名。它由濺射室、基室、目標室、旋轉電動機和感應電源組成。濺射室允許用戶設置所需的過程壓力和溫度,而目標室則允許控制目標材料相對於基板的位置。旋轉電動機使目標材料在腔室中的精確定位能夠實現濺射過程的最佳目標配置。基室容納基板並控制過程的溫度和壓力。感應電源用於控制將濺射材料轉移到基板上的離子電流。CANON ILC 1051能夠進行磁控管濺射、電離金屬濺射、金屬離子等離子體濺射等多種濺射過程。它還可以進行快速熱處理。此外,它被設計為接受包括但不限於氧化物、反應性金屬、純金屬、合金、碳化合物和各種陶瓷材料的各種靶標。ANELVA ILC-1051是一種多功能濺射系統,適用於廣泛的研究應用,包括半導體制造、薄膜太陽能電池生產、光學塗層和醫療器械應用。此外,它還可用於為各種產品沈積高質量的導電膜、粘合劑和保護膜。也可用於沈積各種化學、電化學和機械過程的材料。ILC-1051具有開放式體系結構,允許用戶自定義其系統以滿足其特定要求。其精密的沈積控制和先進的電源,使得層均勻性高精度和優秀的薄膜性能。該系統的靈活性和適應性使其成為各行業研究人員的首選。
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