二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9144936 待售

CANON/ANELVA ILC 1051濺射設備是一種堅固可靠的設備,設計用於將一系列薄膜層和材料沈積到一系列基板上。它具有非常精確和一致地將材料薄層濺射到平面和曲面上的功能。該系統包括兩個主要組成部分：一個高真空室和一個腔室壓力控制單元。高真空室由不銹鋼製成，並設有渦輪分子泵以維持足夠低的基壓，以將氣體分子從腔室中撤離。這個過程被稱為脫氣。腔室還配有水套，使腔室外壁保持恒溫，提高抽水性能。腔室壓力控制機是離子源和電源的組合。離子源產生正負離子，與室內的原子和分子碰撞，激發原子並產生濺射。電源接著控制施加在電子槍和氣源上的電壓，從而達到所需的濺射速率。CANON ILC 1051可用於濺射廣泛的材料和薄膜層。這些包括金屬、合金、氧化物和氮化物。它還具有濺射到一系列基板上的能力，如矽、玻璃和塑料。除濺射外，ANELVA ILC-1051還可用於蝕刻、表面清潔等工藝。CANON/ANELVA ILC-1051配備了一個控制工具，可以在手動或自動模式下操作。在手動模式下，操作員可以手動調整壓力、溫度、電壓等參數，以達到所需參數。在自動模式下，控制資產將獨立維護所需參數。該型號還配備了一系列安全功能，如自動關閉機構、緊急出口和緊急關閉開關。該設備還設計為可上鎖,以提高安全性。總體而言，ILC-1051濺射系統是一種可靠而堅固的裝置，可用於將一系列薄膜層和材料沈積到一系列基板上。它為操作員提供了手動和自動操作模式，並配備了一系列安全功能，以確保最佳操作。