二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9219991 待售

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CANON / ANELVA ILC 1051
已售出
ID: 9219991
晶圓大小: 6"
優質的: 1990
Sputtering system, 6" Air boother Air tank Compressor 1990 vintage.
佳能/ANELVA ILC 1051濺射設備是一種強大可靠的濺射系統,旨在滿足當今工業生產線的需求。這種先進的濺射裝置能夠在廣泛的濺射應用中實現高精度薄膜沈積。該機包括離子源、濺射室、真空泵、控制櫃。離子源配有直流磁控管濺射源、密封陰極源和離子束源。由不銹鋼構成的濺射室足夠大,最多可容納三個目標。腔室具有可調溫度、多種氣體註入系統和可調壓力。連接到腔室的真空泵產生真空,使濺射過程得以發生。控制櫃包含控制、操作、監視和維護濺射工具所必需的組件。直流磁控管濺射源能夠高速率沈積薄膜,適用於大型生產線。密封陰極源允許極高精度的薄膜沈積。其離子束源產生聚焦的離子束用於目標沈積,允許更高的精確度。可調甲烷流量可確保以所需的速率均勻沈積。濺射室內可調節的溫度使得可以產生具有各種特性的薄膜。CANON ILC 1051濺射資產是一種功能豐富的工業濺射模型,能夠創造出性能優良的薄膜。離子束源允許薄膜的精確沈積,而在腔室中可調節的溫度使薄膜能夠產生各種性質的薄膜。是廣泛工業生產線的完美解決方案。
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