二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9269411 待售

CANON/ANELVA ILC 1051是一種濺射設備，設計用於提供各種材料在各種基材上的高質量、精確沈積。該系統提供了廣泛的濺射技術，如直流磁控管濺射、射頻二極管濺射、直流電離子鍍等，使高精度薄膜沈積具有優越的性能和性能。該單元由一個緊湊但功能強大的直流電源、一個最多三把濺射炮的陣列以及一個可調壓力範圍在1 x 10⁻¹³ Torr和大氣壓之間的真空室組成。除了真空室之外，機器的主要部件都集成在一個平臺上，這樣可以有很小的空間，同時提供一個堅固的環境，能夠承受濺射過程中所涉及的高溫和壓力。直流電源能夠在電流模式下為每個濺射槍提供高達0.5kW個電源,或者在電壓模式下為每個濺射槍提供高達500W個電源,從而實現更高的精度和更高的沈積速率。濺射槍本身是一種創新的設計，利用電磁線圈產生的內部磁場來優化等離子體聚焦和更高的沈積均勻性。內部線圈還可以用額外的射頻頻率供電，以提高反應性材料的沈積速率。真空室內部裝有傳感器，用於觀察壓力、溫度和材料組成。最多可安裝三把濺射槍，同時將多種材料沈積到多種基材上，從而可以制造出層狀產品。佳能ILC 1051是當今最先進的濺射系統之一。它結合了先進的技術、廣泛的沈積材料和自動化平臺，使沈積速度比標準系統快4倍，並具有優越的物理和化學特性。該工具具有高精度和均勻性，能夠將多種材料沈積到多種基材上，是生產優質濺射零件和產品的最佳工具。