二手 CANON / ANELVA ILC 1051 #9354461 待售

CANON/ANELVA ILC 1051是一種最先進的濺射設備，用於將先進的薄膜沈積到基板上。它是一個雙室、高真空配置的濺射系統，提供了創造保形和高分辨率薄膜的理想平臺。它能夠濺射金屬、絕緣材料、電介質和其他具有高能和低能等離子體源的濺射材料。CANON ILC 1051具有廣泛的濺射選項，最多六個陰極能夠同時濺射，使其成為大型項目和小型實驗室項目的絕佳選擇。它還包括可調節功率、頻率、電流和氣流選項，使其能夠在多種薄膜應用中達到理想的效果，包括濺射氧化物、氮化物、碳化物和多種金屬。該濺射裝置由一個專利Diamind塗層濺射槍（PDSG）提供動力。它是一種超高真空（UHV）濺射機，設計用於生產質量和均勻性最高的模擬就緒薄膜。PDSG有一個旋轉的弧形托盤和濺射源，允許它提供非常精確的非常薄的薄膜濺射，同時避免燃燒目標材料。濺射工具還具有先進的基於真空的節氣門資產，使其能夠提供一致的沈積速率，並便於對厚度不超過三微米的材料進行有針對性的濺射。它還配備了惰性氣體輸送模式，為敏感薄膜提供了低氧環境。ANELVA ILC-1051濺射設備是生產先進薄膜的理想工具,具有多種功能,可確保獲得最高質量的效果。適用於為各種半導體應用，以及汽車、醫療等其他行業創造薄膜，使其成為一種通用的濺射工具。