二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293642935 待售

CANON/ANELVA ILC-1060是一種單源濺射設備，設計用於薄膜材料生產中的基板沈積。該系統使用單個濺射陰極將一層薄薄的材料均勻地沈積到基板上。CANON ILC-1060的基室尺寸為200 x 200 x 100 mm，適合小規模沈積應用。ANELVA ILC 1060的濺射室裝有電子槍、幾何機械手、磁控濺射槍和數位控制板。電子槍用於向要濺射的材料表面提供負電荷，而幾何機械手則控制濺射材料的形狀和角度。磁控濺射槍確保了基板表面的均勻沈積，而數字控制板則用來設定濺射槍的沈積速率和功率。CANON ILC 1060因其精確一致的沈積特性，非常適合超硬塗層、金剛石狀碳（DLC）塗層等薄膜沈積應用。其精確的沈積控制允許均勻且可重復的濺射沈積，即使在基質難以觸及的區域也是如此。ILC-1060的最大濺射沈積速率為10 nm/min,甚至適用於要求最苛刻的薄膜生產應用。機組還配備了溫控機，在沈積過程進行過程中確保精確穩定的溫度控制。還包括水冷工具，有助於調節濺射室的溫度，減少因熱膨脹造成的誤差。ANELVA ILC-1060是適用於薄膜沈積應用的可靠資產。它易於使用，所有組件和設置都清晰可見，其可編程設置確保任何材料上的濺射沈積一致且準確。更重要的是,它的經濟性使其成為尋求經濟高效濺射模型的公司的理想選擇。