二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643632 待售

CANON/ANELVA ILC-1060是一種濺射設備，用於將金屬薄膜或其他材料沈積在基板上。該系統是一個雙室單元，包括一個鎖載室、一個高頻電源和一個發生磁控管濺射的室。鎖載室允許在不暴露於環境的情況下裝載和卸載基板，在濺射室中保持高真空。高頻電源用於使機器中的磁控管或其他濺射源在目標材料表面發射等離子體被濺射。這種等離子體由電激發的電離粒子組成，這些粒子轟擊目標材料，驅散原子和分子，然後以薄膜形式沈積在基板上。發生磁控管濺射的腔室由射頻電源、真空泵和循環氣體工具組成。最高10,000瓦的射頻功率可用於達到3 x 10-3 Pa的最大壓力，確保目標材料在基板上均勻濺射。真空泵用於保持腔室內恒定壓力，循環氣體資產確保基板上均勻電離。CANON ILC-1060模型能夠將各種材料濺射到各種基板上，使其適合諸如集成電路制造等一系列應用。設備還包括診斷工具，使用戶能夠監測沈積過程，允許調整精確的參數以滿足特定的應用要求。而且，該系統易於擴展，允許多個濺射源，維護要求低。