二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643635 待售

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 293643635
晶圓大小: 8"
PVD Sputtering system, 8".
CANON/ANELVA ILC-1060是一種先進的濺射設備,設計用於將薄膜沈積到基板上。該系統能夠進行多層濺射,使非常薄的薄膜具有突出的可重復性。佳能ILC-1060能夠同時沈積高純度和高抗氧化單層和多層薄膜。濺射過程基於離子轟擊和離子轟擊反應的重復循環。使用的主要方法是磁控管濺射。該裝置先進的真空室采用了多種技術來實現超高真空和高質量的沈積。室中采用射頻等離子體、集成超高真空技術、離子提取機制,使超細顆粒和均勻層膜沈積。ANELVA ILC 1060還提供一系列氣體管理選項,允許用戶根據所需的工藝和薄膜輕松設置和控制不同的氣體流量。多個氣體入口可以在不同的溫度和體積下使用;這些都由控制面板輕松調整和監控。ANELVA ILC-1060非常適合用於快速生產和超精度沈積。其精密的控制軟件可實現快速、準確和可重現的沈積。此外,該裝置采用低噪聲、低振動設計,即使在實驗室環境中也能進行沈積。該機器的全自動功能有助於最大限度地減少人工和時間需求,使其成為快速、有效和可靠的濺射工具。先進的閉環過程控制、實時監控和反饋系統使維護過程參數和確保一致、高質量的結果成為可能。ILC-1060的可編程自動化配方使得以最少的勞力進行可重復的薄膜沈積變得簡單。最後,CANON/ANELVA ILC 1060是為單層和多層薄膜高精度沈積而設計的先進濺射設備。其精密的控制軟件和自動化使其成為適合實驗室設置的快速可靠的濺射模型。它具有多種氣體管理選項、先進的過程控制和實時監控功能,使其成為高度通用的設備,非常適合生產具有重復性和準確性的高質量薄膜。
還沒有評論