二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643641 待售

CANON/ANELVA ILC-1060是一種高功率的濺射設備,設計用於在各種基材材料上沈積優質薄膜。它結合了多個陰極的使用，使得高通量和高純度材料的均勻膜的沈積。CANON ILC-1060配備了自動補償電源，讓影片的功率和均勻性得到前所未有的控制。該系統還具有壓力控制功能，允許濺射裝置精確穩定運行。此外，ANELVA ILC 1060還配備了數字真空控制機，增加了薄膜的均勻性和質量。CANON/ANELVA ILC 1060利用兩個強大的嵌入式磁控管，提供高水平的濺射沈積。這兩個磁控管均具有短圓柱形磁控管目標設計，通過提供均勻各向同性磁場提高了薄膜沈積的濺射速率。目標是可調的，以容納大面積和小面積的基板。此外,可以在CANON ILC 1060中添加外部、積極的磁控管目標,以實現PVD （Physical Vapor Deposition）等更高級的工藝。ILC-1060能夠處理各種沈積材料，包括金屬、化合物、絕緣體和合金。它的兩個目標階段允許將多個材料層濺射到單個基板上。高功率基板加熱器允許不方便材料的常規和低溫沈積，從而能夠對電介質和陶瓷的均勻沈積進行大溫度控制。總體而言，ANELVA ILC-1060是一種可靠、通用的濺射工具，針對高質量、均勻的薄膜沈積進行了優化。其多陰極設計、數字真空控制資產、磁控管配置、可調基板設置，使得薄膜沈積精度和精確度更高。該模型非常適合任何精細表面技術，其中薄膜沈積是必不可少的。