二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293643642 待售

CANON/ANELVA ILC-1060濺射設備是用於薄膜材料生產和沈積的多功能高效濺射系統。它建立在模塊化設計上，有多個電源、散熱器和濺射目標。該單元在速度和性能上都超過了其他類似系統，允許更快的處理和更高的精度。不銹鋼鐘形腔室能夠容納多種配置，包括雙沈積和平面目標。CANON ILC-1060具有多種雙軸運動控制系統,可實現精密沈積控制,以及確保薄膜沈積均勻性的高分辨率光學平坦度控制機器。該工具的集成過程控制系統可監控沈積過程並確保最佳和一致的結果。基板加熱資產能夠將熱量輸送至1500C，使其適用於各種薄膜材料的加工。ANELVA ILC 1060配備了四通道氣體分配模型，允許最多四個氣體引入腔室，允許各種工藝和配置。該設備還具有數字加壓氣體控制系統，可設置用於低壓或高壓過程控制，從而實現精確和均勻的沈積。CANON/ANELVA ILC 1060還包括完整的單元診斷功能,允許用戶在操作過程中監視和診斷任何潛在的問題或差異。它還具有自動化配方管理功能,使用戶能夠快速輕松地在各種流程配方之間切換,而無需每次手動設置每個參數。ANELVA ILC-1060是一款可靠、強大、高效的濺射機，使用戶能夠快速、精確地生產和沈積薄膜材料。它的模塊化設計、雙軸運動控制和全面的診斷能力使其成為廣泛薄膜沈積應用的優越工具。