二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #293749178 待售

CANON/ANELVA ILC 1060是一種高性能濺射設備，專為薄膜沈積的多種應用而設計。該系統能夠向目標材料（通常是金屬或陶瓷）供應由稀有氣體（如氙氣、k氣和氙氣）產生的離子流。離子轟擊有助於剝離目標材料的原子，並將它們以薄膜的形式沈積在基板上。在CANON ILC 1060的情況下，利用直流（DC）間接線性級聯構型對濺射柱施加電壓電位，從而產生帶電的稀有氣體等離子體。ANELVA ILC-1060單元提供廣泛的功率、電壓和流量設置,以精確控制濺射性能。電源包括弧芯直流電源和直流磁控管濺射磁場。對於高速率沈積和提高的濺射屈服，外部磁場設置可在很寬的動態範圍內調節。設備的高頻發生器能夠對過程進行頻率調制，以維持穩定的等離子體狀態。ILC 1060機還包括用於薄膜塗層精密沈積的先進沈積工藝控制.它配備了一個多通道溫度監控器來控制底物和目標溫度，以及一個多區域環境監測工具來檢測環境的任何變化，並在必要時觸發自動關閉程序以防止汙染。ANELVA ILC 1060還采用了精確的目標和基板距離以及傾斜控制裝置，確保了材料沈積的精確均勻性，以確保重復性和高質量的結果。其控制臺在整個過程周期中準確監控和記錄真空參數和工藝參數。綜上所述,CANON/ANELVA ILC-1060是一種高度先進的濺射資產,旨在滿足那些需要高生產水平的精確、可重復和可靠的薄膜塗層的需求。其先進的功率、電壓、流量和沈積過程控制、多區域環境監測模型以及精確的距離和傾斜控制裝置都有助於確保每次的高質量沈積。