二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #9033668 待售

CANON / ANELVA ILC 1060
ID: 9033668
晶圓大小: 8"
Sputtering system, 8" Currently stored in a warehouse.
CANON/ANELVA ILC 1060是一種高科技濺射設備,設計用於金屬、合金和精密薄膜塗層的工業級濺射塗層。該系統將基於離子的物料沈積源(濺射)與低壓陰極電弧技術結合在一起,提供了令人難以置信的精確物料層。其可調射頻功率和可調磁控管濺射室可控制沈積速率、沈積均勻性和沈積材料厚度。CANON ILC 1060單元還在大面積上快速提供了一致的層,沒有傳統濺射系統所要求的復雜氣體處理。ANELVA ILC-1060的高功率電源具有集成的10千瓦電源,易於操縱電源控制,並允許機器以極高的濺射速率運行。其可調電源還可以方便調整濺射壓力及相關濺射參數,精確控制薄膜厚度、均勻性和質量。它的電子束蒸發源允許多種材料在氙氣氣氛中汽化。蒸發源被設計成可容納單個或多個目標的crucibles,這使使用者對沈積物料的沈積速率、厚度和均勻性有極精確的控制。佳能ILC-1060還具有兩個獨立的多室目標,由一個計算機化的目標定位階段驅動。目標支架是可調的,可以容納兩種不同尺寸的材料。為了保證沈積薄膜的精確均勻性和質量,設計了一個保證目標材料正確放置和平衡的舞臺。集成室快門,ILC 1060清潔和基板裝載可以完全自動化,提高生產效率。該工具還允許遠程網絡連接,從而便於管理操作。嵌入式PC控件和網絡軟件使用戶能夠隨時監視和訪問資產中的數據。ILC-1060濺射模型是制造工業級密封劑、耐用塗層、表面保護層和其他專用薄膜產品等應用的理想工具。ANELVA ILC 1060以其強大的光源和精確的控制,是各種尋求生產精確濺射金屬和合金層的行業的絕佳選擇。
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