二手 CANON / ANELVA ILC 1060 #9142589 待售

CANON/ANELVA ILC 1060是一種高端射頻（RF）磁控管濺射設備，用於在各種物體和表面沈積薄保護膜或塗層。它是一個多用途的系統，可以處理多種金屬、介電和超導膜。CANON ILC 1060是直流電（DC）或射頻濺射裝置，濺射功率高達8 kW。電源配備了12千瓦的峰值功率。濺射槍控制由60通道的DC/RF互鎖控制單元處理，能夠提供均勻的功率分配和濺射層。該機具有氣動操作的4 'x 2' x 1'真空室和集成6目標超高真空鎖定工具。負載鎖定資產允許將高達4 'x 2' x 1'的大型物體快速裝入腔室，而不會破壞真空。雙門入口允許移除大型物體。ANELVA ILC-1060配備了120 Hz頻率控制器，允許金屬、介電或超導膜在多種物體上的高效沈積。1000C了ANELVA ILC 1060的最高工作溫度。ILC-1060是一個非常通用的濺射模型。這些特殊功能使它能夠用於各種應用程序。可用於在半導體、基板、光電微器件、金屬、電介質和超導材料上沈積薄膜或保護性塗層。它內置的過程控制功能使其能夠對細紋和形狀進行精密蝕刻和濺射。它對於創建用於光學元件、等離子體顯示器和微光刻等應用的納米結構膜也非常出色。佳能ILC-1060也非常耐用可靠。CANON最先進的真空技術可確保薄膜始終保持清潔和均勻的沈積，並將汙染風險降至最低。此外,堅固耐用的設計保護設備免受環境問題的影響,例如灰塵和振動。ILC 1060是一個令人難以置信的強大和多用途的濺射系統,用於創建薄的保護膜和塗層。CANON/ANELVA ILC-1060體積大、工藝控制功能先進、操作可靠,非常適合各種工業、實驗室和生產應用。