二手 CANON / ANELVA L-322S-FHT #293639204 待售

CANON/ANELVA L-322S-FHT濺射設備是一種先進的、工業領先的沈積儀器，用於在基板上沈積薄膜層。該調制濺射工具適用於生產需要精確控制和均勻厚度的薄、保形、高質量的沈積層。該型號提供最先進的光學設備，包括四孔、Eu-gun、板式分配器和裝載室。它旨在容納一系列目標材料，如鋁、鈦和銅，並滿足生產力和均勻性方面最嚴格的要求。該儀器還提供先進的加熱和冷卻能力，使溫度控制嚴密和可重復的結果。該系統可用於多種應用，如半導體器件和光電元件，得益於其先進的高性能沈積能力。該儀器有一個自動化機構，可以快速和高精度地調整壓力、功率和濺射時間。這樣可確保各種材料的汙染和穩態性能最小。CANON L-322S-FHT提供了非常高的吞吐量，可以在一個周期內沈積高達6.7µm厚的層。該工具具有較大的均勻性區域，允許在大面積基板上均勻沈積。該裝置高度可靠，生產產出的周期時間極短，效率很高。該儀器有一個全面的維護程序作為後盾，並配有一套診斷工具，旨在提供遠程支持和故障排除。該機器還支持各種過程控制軟件程序,使用戶能夠對其濺射操作進行編程並監控其產品質量。綜上所述，ANELVA L-322S-FHT是為優化薄膜沈積而設計的高性能、高通量濺射工具。憑借其先進的控制資產、快速的周期時間和較大的均勻性區域，該儀器在廣泛的應用中提供了高度可重復的結果。對於薄膜的可靠和經濟高效的沈積，L-322S-FHT是一個強大和多用途的工具。