二手 CANON / ANELVA L-400EK-L #9372506 待售

CANON/ANELVA L-400EK-L是一種為大規模生產而設計的自動濺射設備，結合了高精度濺射沈積技術和一個精密的真空室，成為一個高效的系統。其先進的設計提供了極好的均勻性，以極高的沈積速率沈積薄膜，低腔室泄漏率，極高的可靠性和低的維護成本。佳能L-400EK-L濺射裝置由濺射室、濺射源、真空機和過程控制工具四個主要部件組成。真空室由不銹鋼制成，能夠達到超高真空，從而有可能高效地沈積出薄膜。該工藝室配有前泵、粗加工泵、離子源和渦輪泵。大容量的前泵有助於將真空迅速降低到所需的工作水平，而粗加工泵則在整個過程中保持恒定的壓力。濺射源是大氣型直流源，最大功率可調節至400kW。它配備了多達40支濺射槍，可以同時在各種基板上沈積薄膜。濺射過程具有很高的可重復性，並且在整個樣品表面具有極好的均勻性。ANELVA L-400EK-L具有自動控制資產,可精確監測和控制濺射過程。復雜的控制模型使您能夠根據所需的值精確控制參數和條件。設備也具有很高的適應性，可以適應濺射條件的突然變化，確保達到均勻甚至沈積。總體而言，L-400EK-L系統是一種高效可靠的大規模生產濺射裝置。其先進的設計和精密的控制機使其成為高精度金屬和半導體薄膜以極好的均勻性和沈積速率沈積的理想選擇。其出色的性價比使其成為當今市場上最受歡迎的濺射系統之一。