二手 CANON / ANELVA L-410S-FHL #9156826 待售

CANON/ANELVA L-410S-FHL是一種主要用於物理氣相沈積（PVD）應用的濺射設備。該濺射系統由采用低壓朗繆爾-欣謝爾伍德蝕刻工藝的真空室組成。這樣做是為了在諸如玻璃、矽、塑料和金屬等基板上創建薄而高度均勻的材料層。該裝置分為兩個階段：一個帶電子槍的主室和一個帶濺射槍的副室。主室配有電子槍，由連接真空泵的丙烯酸鐘形罐組成。電子槍產生一個電子束，用來沈積材料的薄層。這種光束是通過在兩個金屬電極之間施加電壓而產生的。電壓一般由步進電機控制。電子被加速，然後與目標材料的分子碰撞，導致它們分解並被推進到底物上。這一過程產生了整個表面厚度相等的保形塗層。次要腔室裝有濺射槍，由丙烯酸鈴鐺罐組成。該槍用於將第二層薄薄的材料濺射到基板上。過程與電子槍相似，但濺射槍由三個電極組成。將帶負電的目標材料置於陽極（帶正電的電極）上。當在陽極和陰極之間施加電壓時，離子會從目標材料中排出，然後與基板碰撞，在基板上沈積一層薄薄的材料。這一過程導致均勻覆蓋，沈積率很高。CANON L-410S-FHL濺射機由於覆蓋範圍均勻，沈積條件溫和，在電子、汽車、照明等多個行業都有應用。該工具可確保各種濺射沈積和PVD過程的準確性和可重復性。