二手 CANON / ANELVA L-430S-FHL #9107299 待售

ID: 9107299
Sputtering system, 1998 vintage.
CANON/ANELVA L-430S-FHL是一種濺射設備,設計用於用金屬或其他材料的薄膜層塗覆材料表面。廣泛應用於半導體、汽車、航空航天、醫療設備、光學、可再生能源等行業。該機由一個緊湊的前支撐單元、一個獨立的後平臺、一個基板(工件)運輸的頂部平臺和兩個離子源臂組成。它配備了四軸自動濺射源對準系統、三個獨立的旋轉目標架、用於超高真空(UHV)操作的原位泵機以及自動化的樣品快門機構。濺射源提供高功率和塗層均勻性,並且能夠塗覆多達四種不同的材料。該機效率高,配備快速掃描激光幹涉儀,實現精確濺射目標跟蹤對準。快速掃描功能保證了濺射膜的優越均勻性。CANON L-430S-FHL還提供高持續沈積速率,額定在低於3.0x10-4 torr的壓力下運行。該工具能夠精確控制沈積速率、濺射角、離子濃度和電極電流,以優化工藝結果。ANELVA L-430S-FHL還設計了多種功能,以確保用戶在操作過程中的安全。該機具有兩步弧電控制、自動關門、遠程應急按鈕、接地電纜、滅火器等安全功能。該機具有易於使用的設計,並配備了幾個數據記錄和監控系統,以利於準確的過程跟蹤和優化過程控制。該機器還設計用於連接制造系統,以促進自動化生產過程。總體而言,L-430S-FHL是一種先進的濺射資產,旨在為用戶提供各種基材和材料上的最佳膜沈積性能。它是為精度和準確性加上安全性和可用性而設計的。該單元非常適合研發、光學膜的生產級濺射、工藝優化等應用。
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