二手 CANON / ANELVA NC-7900 #9236120 待售
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CANON/ANELVA NC-7900是一種用於薄膜沈積的濺射設備。它可以生產緊密均勻性、高可重現性能、精細特征分辨率的薄膜。該系統由高真空室、濺射源和工藝控制器組成。High Vacuum Chamber:該單元配備了高真空室,具有不銹鋼圓柱體和可移動蓋。這個腔室能夠達到低至1 x 10-7torr的基壓。裝有直徑25厘米的目標保持盤,內徑115毫米,高400毫米。腔室有雙線導線,便於從兩側進入目標載荷。濺射源:佳能NC-7900濺射機裝有兩個濺射源。源組件為磁控管和高功率脈沖磁控管(HiPIMS)濺射提供了有效的沈積過程。它們由直流和/或射頻電源驅動。濺射源還帶有高精度目標定位系統,以精確控制濺射目標的位置。工藝控制器:工藝控制器是ANELVA NC-7900的核心部件.它由計算機接口、數據采集工具和預編程的過程控制例程組成。過程控制器允許用戶實時監視和控制沈積過程。它還允許用戶在沈積過程中分析和保存數據。NC-7900濺射資產是一種精密的薄膜沈積工具。它具有出色的均勻性、高可重現性能和優良的特征分辨率。該模型由一個高真空室、兩個濺射源和一個工藝控制器組成。該設備能夠生產具有精確控制通道的薄膜,是研究人員和生產工程師的絕佳選擇。
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