二手 CANON / ANELVA SPC-530H #9053827 待售

CANON/ANELVA SPC-530H Sputtering Equipment是一種沈積系統,旨在將金屬等材料薄膜高速度地沈積到基板上。該裝置非常適合生產可靠且可復制的薄膜，適用於各種應用。CANON SPC-530H的靈活性和多功能性使其適合各種研究和行業應用。濺射機由氣源、電源和真空室組成。該氣源為濺射過程提供了必要的氣體，其中可能包括氙氣、氧氣、氮氣和其他化合物。電源為濺射過程提供可調節的電壓和電流。此外,電源還配備了幾種不同的模式和安全功能。真空室設計為保持金屬壁溫度、氧氣氣氛和壓力水平，以保護薄膜免受氧化和其他不希望的反應。ANELVA SPC-530H能夠將銅、鋁、鈦、不銹鋼和鉻等材料濺射到沈積速率高達10 µm/min的基板上。此外，該工具還包含用於控制目標電流的先進技術，使其適合任何濺射作業的過程優化。它也可以很容易地整合到現有的設施中，並且與各種基材兼容。SPC-530H包括一個智能液氣流量控制資產與雙氣體入口閥。該模型有助於防止氧化，並在濺射時控制目標壓力。此外，該設備還配備了可靠的真空系統，能夠將腔室壓力維持在0.1帕或以下。佳能/ANELVA SPC-530H由於其液晶顯示屏、六種電壓顯示屏以及USB或GPIB接口而享有用戶友好的操作。該單元還配備了高級診斷功能，可實時監控關鍵進程狀態。此外，CANON SPC-530H還設計了一種先進的過濾機，提供恒定的清潔度。這些過濾器經過專門設計，可以從工具中去除固體顆粒，並確保高質量的濺射過程。資產還包括各種安全機制，有助於保護經營者和產品。ANELVA SPC-530H是一種先進、可靠、用途廣泛的薄膜沈積模型，適用於各種應用。它的特點允許用戶以高速率生產一致的高品質薄膜。此外，其用戶友好的操作、安全機制和先進的過濾設備使其成為研究和工業應用的理想系統。