二手 CANON / ANELVA SPC-530H #9111247 待售

CANON/ANELVA SPC-530H是為工業用途而設計的高性能濺射設備。它結合了兩個組成部分：一個基於等離子體的磁控管濺射源和一個用於創造真空環境的腔室。基於等離子體的磁控管濺射源利用電子淋浴來激發產生等離子體的氙和氧的氣體混合物，提供高能且均勻的實體轟擊基板表面。表面的晶體結構隨後通過對原子物種的轟擊而改變。CANON SPC-530H的腔室設計為提供真空環境，允許材料在類似空間的條件下沈積在基板上。在1x10-6 Pa的極限壓力下，腔室設計有外部增壓泵，以維持所需的真空環境。此外，腔室設有真空線、管道、閥門，確保腔室的完整性，保持最佳性能。ANELVA SPC-530H具有多種功能,例如離子源,通過控制原子的電離和源功率檢測器來幫助控制薄膜沈積,這有助於監控過程並發出反饋以保持所需的薄膜沈積。此外，SPC-530H還包括一個等離子體監測窗口，它允許觀察室內的等離子體，並允許進一步微調過程。總體而言，CANON/ANELVA SPC-530H是為工業用途而設計的先進濺射系統。它結合了基於等離子體的磁控管濺射源和提供真空環境的腔室。該單元配備了離子源、源功率檢測器、等離子體監測窗口等功能，允許對沈積過程進行精確控制。憑借其先進的特點，該機廣泛應用於半導體和汽車行業，為用戶提供高精度、可靠、經濟高效的結果。