二手 CANON / ANELVA SPC-530H #9284126 待售
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CANON/ANELVA SPC-530H是為各種類型的薄膜沈積而設計的高性能濺射設備。該系統利用電子控制的高頻濺射工藝將材料薄膜塗在基板上。它具有緊湊、堅固的設計,在工具制造和材料研究等工業環境中具有卓越的性能。CANON SPC-530H包括一個帶鈦濺射目標的渦輪泵浦真空室和一個高性能電子束槍。這使得材料的濺射速度極快和精確,從而產生精確的層厚度和均勻性。該單元能夠以不同的參數在廣泛的應用中運行,如腔室壓力、基板溫度和轉速。ANELVA SPC-530H具有確保所需層均勻沈積的特殊機制。這包括一個規範驅動控制器,它具有一系列工具來調整參數,以精確控制薄膜厚度、均勻性和均勻性。該機配備了廣泛的基材,包括矽片、模叠、玻璃盤等。SPC-530H還帶有一個高精度級可靠的基板載荷。舞臺具有自動電動升降機功能,可用於手動基板的換擋和定位,以及允許斜角塗層的電動傾斜功能。CANON/ANELVA SPC-530H還具有高效氣體利用功能,可節省成本和優化工藝,同時減少汙染和環境影響。此外,該工具還包括用於監測濺射條件和薄膜沈積後分析的高精度測量裝置。這確保了以最小的能耗進行可靠的過程控制。CANON SPC-530H是用於薄膜沈積的緊湊而全面的資產,它提供了多種功能,可提高效率、節省成本和可靠性。憑借先進的技術和令人印象深刻的性能,ANELVA SPC-530H是業界優質制造的理想選擇。
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