二手 CANON / ANELVA SPF-210H #9284046 待售

CANON/ANELVA SPF-210H濺射設備是一種高效的系統，用於制造薄膜、氧化物和多層結構。它利用高頻射頻電源在目標材料上覆蓋惰性氣體。將直流偏壓施加到基板上以形成均勻的薄膜。佳能SPF-210H由一個主室、目標、兩個電源、一個直流偏置電源、一個磁控管放電源和一個真空室組成。主室溫度控制，保證膜沈積均勻。目標材料，如鋁或其他金屬，由高性能磁鐵固定在濺射室中，作為磁瓶。這允許大面積和均勻的目標濺射。目標表面被引起濺射的高頻射頻信號或目標材料的等離子體脫離轟擊。信號由磁控管放電源產生。四象限直流偏置電源提供高沈積速率。濺射粒子保持帶電，直流偏壓用作將帶電粒子推入基板的加速器。將基板放置在腔室中，並保持溫度，以確保均勻和堅固的薄膜沈積。腔室是一個真空腔室，為了提供高質量的薄膜沈積工藝，將其下泵至1 Torr。ANELVA SPF-210H還利用高效抽油機在濺射過程中保持腔室壓力。另外，註入氣體混合良好，保持穩定流量，產生可再現且可靠的薄膜。SPF-210H是制造氧化物和多層薄膜的理想選擇。它是一種小巧易用的濺射機，幾乎不需要維護，能夠在大面積生產均勻、堅固的薄膜，而無需復雜的拋光工藝。CANON/ANELVA SPF-210H非常適合許多應用,包括各種金屬的濺射、透明導體、陶瓷材料和光學薄膜。