二手 CANON / ANELVA SPF-210H #9382541 待售

CANON/ANELVA SPF-210H是為薄膜沈積工藝設計的幹式濺射設備。該系統非常適合制造光電元件、平板顯示器和薄膜磁頭等應用。這個濺射裝置有一個1,000-W的單頻功率放大器，能夠濺射各種材料。機器被封閉著一個高真空室，能夠達到10-6 Pa（10-7 Torr）的真空水平。此外,CANON SPF-210H還具有全自動陽極組件、具有2軸運動的樣品級、射頻（RF）發生器和等離子體監視器。所有這些組件都是通過計算機接口控制的。陽極組件由一個固定在腔室內的中央桿和4個對位電極組成。它還具有有助於最大限度地減少顆粒產生的水冷卻機制。樣品臺安裝在線性運動導軌上，射程為10毫米x 10毫米。射頻發生器由感應線圈和LC耦合電路組成。這使得工具可以在對基板或被沈積的材料造成最小損害的情況下濺射材料。等離子體監測儀能夠測量功率密度、電子溫度和電子數密度等等離子體參數。這有助於資產實現同質沈積剖面。此外，ANELVA SPF-210H還配備了電弧損傷預防模型（ASDS）。該設備通過降低電弧電壓和防止高頻電弧,幫助保護樣品免受任何可能的損壞。SPF-210H是一種可靠高效的濺射系統，可用於各種沈積過程。其自動化功能和先進的監控系統使其易於使用並提供卓越的效果。它是任何薄膜沈積工藝要求的理想解決方案。