二手 CANON / ANELVA SPF-312 #9299212 待售

CANON/ANELVA SPF-312是一種用於薄膜沈積技術的多功能濺射設備。該系統旨在對薄膜沈積過程進行精確有效的控制，包括濺射、蒸發和反應性濺射。CANON SPF-312提供了多種功能,能夠提供對薄膜質量的卓越控制,包括厚度、成分和均勻性。這種濺射裝置具有300毫米x 4英寸直徑的圓形或方形旋轉陰極目標。循環目標被加熱和冷卻,以更精確地控制薄膜的質量和效率.目標被兩步磁場包圍，該磁場可調節以實現均勻濺射速率。均勻濺射速率是通過直流和射頻源的組合實現的，向目標傳遞精確而均勻的功率。ANELVA SPF-312中使用的氣體是根據具體應用選擇的，可以由Ar、Ar/O2、Ar/N2、Ar/O2/H2或任何帶有額外添加劑的惰性氣體組成。該機在基板上還具有全方位的可調壓力，範圍從幾毫到1托。這種廣泛的可調壓力範圍允許在沈積過程中精確控制壓力。SPF-312配有擋板工具，可以調整以實現湍流，使目標更均勻覆蓋。擋板資產也用於防止目標被蒸發材料侵蝕。該模型具有高達1,000 Å/hr的高速率沈積速率，均勻度為5%或更低。這種多功能濺射設備設計用於多種應用，如在面包板、太陽能電池、半導體、液晶和OLED顯示器、玻璃以及各種陶瓷材料上提供塗層。它也可以用適當的等離子體活化來製造金屬和其他薄膜沈積層到基板上。該系統還可用於生產多層薄膜，同時控制薄膜的厚度、成分和性質。總體而言,CANON/ANELVA SPF-312是一種多功能濺射裝置,具有廣泛的特性和功能,非常適合薄膜沈積工藝。它具有可調陰極、磁場、可調壓力等特點，是一種可靠、堅固的濺射機，可提供優越的薄膜質量和均勻性。