二手 CANON / ANELVA SPF-332H #9048858 待售
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CANON/ANELVA SPF-332H濺射設備是一種自動化的界面濺射系統,采用磁質控制技術。它設計用於極高精度的蝕刻、沈積和電鍍作業,面積可達15厘米乘30厘米。該裝置設計用於半導體工業的實驗室和生產廠。該機配有計算機數控(CNC),配有多板濺射頭,用於在受控環境中濺射不同的材料。Multiplate sputter head是為提高吞吐量和提高產量而設計的。設計中包含的磁性屏蔽確保離子轟擊最小化,並確保粒子以均勻方向濺射。該工具配備了專有的閉環濺射電源和等離子體激發加熱器,確保該過程保持高度可重現和準確。該資產是完全可編程的,允許您自定義配方、創建自定義流程條件以及在流程之間輕松切換。利用先進的軟件和圖形用戶界面,該模型可用於高溫過程的自動、實時控制。該設備還具有自動氣體流量調節、濺射弧數和用於監測濺射過程的光發射光譜監測系統。該單元配有一個鎖載室,以減少改變工作氣氛所需的時間或防止工作環境受到汙染。它有10個負載鎖,為用戶優化流程和提供靈活的樣本處理提供了額外的靈活性。該機還包括一個排氣工具,以安全清除危險的過程氣體。該資產符合世界許多最嚴格的標準,如JEDEC、SEMI等,使其適合在許多實驗室、工業生產線和其他先進實驗室使用。它也非常適合用於汽車、航空航天和醫療設備的應用。總體而言,CANON SPF-332H濺射模型是一種用戶友好的濺射設備,具有先進的功能,可實現快速、準確和經濟實惠的過程。它為不同行業的各種先進工藝提供了更高的吞吐量和更高的產量。
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