二手 CANON / ANELVA SPF-410H #9048859 待售

CANON/ANELVA SPF-410H是一種高精度濺射設備，設計用於在各種基板上制造薄膜塗層。該系統由四個主要部件組成：主室、電源、磁控管和各種探測器。主室是放置要塗覆的基板或材料的室。該室配有惰性氣體供應裝置和真空監測和控制裝置。電源是負責提供產生等離子體的電壓的組件。電源設置到一定水平，以確保等離子體密度適合濺射過程。磁控管槍是機器中產生強烈磁場的組件，從而給離子一條穿越真空的路徑。各種探測器測量等離子體密度、離子通量和其他需要監測的參數。該工具具有可變電源，適用於不同類型的濺射過程。電源可以在0到2000V之間產生，並且可以設置在不同的頻率，範圍從直流到120 KHz。這使得它可以用於反應性濺射、離子氣相沈積和陰極電弧蒸發等過程。CANON SPF-410H的多功能性使得它成為許多不同應用的合適選擇。資產優越的真空和等離子體穩定性使得它可以用於光學塗層、半導體制造、薄膜沈積等工藝。模型的高精度也允許它用於MEMS、半導體器件、光電探測器等精密濺射過程。設備的長期運行由一系列反饋傳感器維持。這些允許調整腔室壓力以保持所需的沈積速率，調整等離子體密度以防止汙染，以及評估目標區域以監測系統的運行。ANELVA SPF-410H提供了廣泛的功能，確保它是一個可靠和精確的濺射單元。該機強大的電源、卓越的真空和等離子體穩定性，以及通用的探測器，使其成為各種薄膜應用的合適選擇。