二手 CANON / ANELVA SPF-430 #9122965 待售

CANON/ANELVA SPF-430是由CANON和Toyota Central Research LAB一起開發的多功能濺射設備，是一種高度通用的工具，能夠在超高真空和大氣壓力下將材料均勻和定向塗覆到基板上，使其在許多行業中的應用日益廣泛。佳能SPF-430的腔室容量為450升，設計用於多層系統、X射線鏡和傳感器等多種濺射應用。腔室本身是一種混合設計，提供超高和大氣濺射技術。它是由不銹鋼與集成冷凍泵和B-DTE管為改進散熱。對基板、腔室、濺射陰極等部件進行了專門開發和優化，以實現高真空濺射操作的最佳性能。ANELVA SPF-430具有磁控管濺射、SIMS植入和熱蒸發能力.該系統能夠長時間連續運行，使得背面濺射成為可能。此外，它還支持兩軸和三軸化學氣相沈積，以及旋轉底物的能力，這對於制造多層系統特別有用。該裝置還具有改善沈積材料在基板上的附著力的獨特特性。這是通過在濺射之前對目標施加高壓（稱為預濺射）來實現的，這使得材料能夠更緊密地粘附在基板表面。SPF-430包括一臺計算機控制的數據采集機，它記錄和存儲每個濺射過程中的數據。這些數據對於分析工具的操作及其整體性能至關重要。此外，資產還包括一個安全控制電路，用於監測壓力、溫度和其他參數，並在檢測到任何不規則性時關閉模型。總體而言，CANON/ANELVA SPF-430是一種非常高效、功能強大的多功能濺射設備，具有適合許多表面塗層應用的特點。它能夠進行廣泛的操作，加上長時間的連續操作和穩健的安全特性，使其成為許多工業過程的理想選擇。