二手 CANON / ANELVA SPF-510 #9148249 待售

CANON/ANELVA SPF-510是一種先進的薄膜沈積設備，設計用於金屬和介電薄膜的濺射沈積。該系統針對平面和曲面薄膜沈積進行了優化。CANON SPF-510的特色是一個帶有6英寸圓形沈積區域和四門1英寸MN源炮的超高壓室。該裝置能夠在工藝溫度高達800°C的情況下進行高通量薄膜沈積。該機設計用於多種科研領域，包括材料科學、微電子學、MEMS/NEMS和薄膜太陽能電池。ANELVA SPF-510具有一個高純度抽水工具和一個全金屬門閥，允許低室壓操作低至1 × 10-3 Pa。該資產還配備了一個實時腔壓監控器，以實現最佳的過程控制。該型號的源炮具有高效率的源電源，提供500 W至5 kW的廣泛濺射功率。這允許快速沈積速率（最高10 nm/s），具有出色的均勻性和均勻性。該設備可與扁平晶片、管狀基板等直徑達25.4mm的大型基板配合使用。除了濺射沈積，SPF-510還支持反應性濺射。該系統具有受保護的射頻電源,可實現高級過程控制和均勻性。該單元配備了多通道比例度量控制器，允許對濺射過程參數進行全面調節，如目標厚度、沈積速率、壓力等。CANON/ANELVA SPF-510易於安裝和操作。機器帶有一個直觀的用戶界面，允許快速的進程參數設置。該工具設計用於生產環境中可靠、穩定的操作。此外，該資產還具有高性能的數字前饋閉環溫度控制模型，用於精確和可重復的處理。總體而言，佳能SPF-510是為高通量薄膜沈積而設計的先進濺射設備。該系統的特點允許對金屬和介電薄膜的沈積進行精確的工藝控制。該裝置易於安裝和操作，非常適合各種薄膜沈積應用。